特点
●大幅度提高了驱动速度(X轴：80mm/s，
Z2轴：20mm)，近一步降低了总测量时间
●为了在一定时段内维持仪器的直线度精度
规格，三丰公司采用了具有的耐磨擦
性及稳定性的高硬度陶瓷导轨
●大量的外周设备选件支持CNC模式，从而
可以很容易实现CNC测量
●驱动装置(X轴)和立柱(Z2轴)中集成了高精
度光栅尺(Z2轴为ABS型)，从而提高了在
垂直方向持续自动测量小孔和不易定位工
件的重复精度
●X轴精度：±(0.8+0.01L)μm
●Z1轴精度：±(0.8+l0.5Hl/25)μm*，针
对高精度工件的测量所设计
●CV-4100系列的驱动装置集成了Laser
Hologage检测器，在Z轴(垂直方向)的窄
/宽测量范围内，提供的精度和分辨
率