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测头型号 | F1.5 | F1.5R | F3.5 | F10 | N1.5 | FN1.5 | FN3.5 |
工作原理 | 磁感应 | 涡流 | 磁感应+涡流 | ||||
测量范围 (μm) | 0-1500 | 0-3500 | 0-10000 | 0-1500 | F:0-1500 N:0-1500 | F:0-3500 N:0-3000 | |
低限分辨率 | 0.1μm | 1mm | 0.1μm | ||||
示值误差(μm) | ±(1%H+1) | ±(1%H+3) | ±(1%H+5) | ±(1%H+1) | ±(1%H+3) | ||
最小曲率半径 (mm) | 凸1.5 | 凸1.5 | 凸5 | 凸10 | 凸1.5 | 凸1.5 | 凸5 |
最小面积直径(mm) | φ7 | φ7 | φ10 | φ40 | φ7 | φ7 | φ10 |
基体临界厚度 (mm) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 1 | 0.3 | F:0.5 N: 0.3 | F:0.5 N:0.3 |