关于混会过滤器

♦ 采用精度高的内联气体过滤器实现混合垫片式气体过滤器（入口和出口）。

♦这种混合过滤器有助于延长内联气体过滤器的使用寿命质里流里控制器（MFC），并防 止金属的密封损坏密封渴通过皆除粗超颗粒引起泄漏超过3微米或1微米。

特点

♦1.过滤介质采用316L不锈钢制渣。

♦2.该垫圈由316L不锈钢或擦制成。

♦3.它可以将混合过滤器作为面密封来处理，因此不需要额外工作（管线气体过滤 器安装的切割/焊接）。

详细信息

精密过滤精度的气体功率器的入口/出口的接口部分安装垫圈型气体过滤器，可以对配管中的0.3μm以上或者1μm以上的大粒子进行初步过滤，可以发挥防止精密气体过滤器和流量控制器的堵塞，防止金属密封阀等的密封不良造成的气体泄漏等作用。

配管的密封接口部分的垫圈可以单独安装。

无需改造现有的配管，也能安装。

♦过滤器材质采用SUS316L制造。

♦垫圈材质采用SUS316L或镍。

♦ 配管的密封接口部分的垫圈可以单独安装，无需改造现有的配管，也能安装。

规格

过滤精度≥0.3μm/≥1μm

材料

垫圈: 316L不锈钢或镍质合金

过滤器: 316L不锈钢

Z高的操作压力0.98MPa

接头1/4英寸、3/8英寸(1/2”普通)支撑任何表面密封类型

尺寸

孔径1/4英寸

固定器材料由316L不锈钢制成。

孔径类型为3/8英寸或1/2英寸（常见）

固定器材料由316L不锈钢制成。