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国产气体质量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内的流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。在输出方面,带有工业级液晶触控显示屏,具备流量设置、瞬时流量和累积流量显示等功能。输出信号可选择:4-20mA和1-5V模拟信号,以及RS485等数字通信方式。
国产气体质量流量控制器产品应用于:半导体加工、分析和环保、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工(石化)等过程控制