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面议对于激光头控制结构的优化,科尔摩根KBM直驱电机,可以直接嵌入激光头的机器结构中,从而实现简化动力学控制,并增加运动精确性,减少客户设备的体积。同时,其中心轴外形设计,在实现激光传输和聚焦系统的直通的同时,可以保持灵活度和精密度,并实现360度和+/-135度旋转行程的双旋转轴的同步。3.Kollmergen科尔摩根电机在CMP化学机械研磨机的应用:
科尔摩根为其提供了驱动转台和研磨头的16轴系统方案,方案集成了科尔摩根的明星产品直驱电机DDR和高性能标准伺服电机AKM。电机优化的电磁设计有效降低了齿槽效应,减少了速度波动。同时,紧凑的电机尺寸节省了更多安装空间。而且,热替换功能允许在不关闭网络的情况下替换节点,进一步减少了停机时间。 最终,方案帮助用户实现了用于300mm以及65nm晶圆加工的研磨设备技术要求,实现了多轴数紧密协同控制,且运动控制可按照要求定制轨迹,帮助设备获得了高可靠性和安全性,以及确保零停机时间。