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| 炉体结构 | 双层炉壳间配有风冷系统，表面温度低； 日本进口高纯氧化铝多晶纤维炉膛，保温性能良好 炉子底部装有一对滑轨，移动平稳 炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却 炉盖可开启，可以实时观察加热的物料 |
| 电源 | 电压：AC220V 50/60Hz；功率：4KW |
| 炉管 | 高纯石英管 尺寸：Φ60*1250mm、Φ80*1250mm、Φ80*1250mm |
| 法兰及支撑 | SUS304不锈钢法兰，通过用硅橡胶“O”型圈紧密密封 通过KF卡箍完成法兰的连接，放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑架，平衡炉管的受力情况 包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合 |
| 加热系统 | 加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2，表面负荷高、经久耐用 加热区长度：300mm 恒温区长度：200mm 工作温度：≤1100℃ 温度：1200℃ 推荐升温速率：10℃/min |
| 温控系统 | 温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能 30段升降温程序 测温元件：K型热电偶 恒温精度：±1℃ |
| 供气系统 | 标准量程：100，200 ，500，1000SCCM； （以氮气标定，除以上标准外量程可选） 准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5%F.S. 重复精度：±0.2%F.S. 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa 压力：3MPa 接头类型：Φ6,1/4''双卡套不锈钢接头 显示：4位数字显示 流量规格：0~500sccm 流量精度：±1.5% |
| 高真空真空系统 | 机械泵 抽气速率：4L/S 容油量：1.1L 电机功率：400W 极限压强：6×10-2Pa 分子泵 抽气速率：100L/S 极限压强：6×10-6Pa 启动时间：＜2min 额定转速：4300转/分 冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷。 分子泵控制器 电压：220V±22V 启动电流：≤7A 输入频率：47HZ—63HZ 输出功率：≤150W 加速电压：≤40V 加速时间：≤3min 频率（双速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ 复合真空计 测量路数：2路（电阻规、电离规各1路） 工作模式：手动/自动 电阻规 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离规 可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管除气方式：焦耳去气 |
| 射频电源系统 | 输出功率:5-500W 功率稳定度：±0.1% 射频电源频率:13.56MHz 稳定性±0.005% 反向功率:200W 射频接口: 50 Ω, N-type 冷却:风冷 电源:AC187-253V 50/60Hz 输入功率：1KW AC 220V |
