微型真空立式管式炉 1100℃

GR.VTF系列微型真空立式管式炉详细介绍

GR.TF系列真空管式炉，具有合理的性能设计，集多项功能于一身，安全性，可靠性，实用性均达理想效果。

1.温度1100℃，加热区为200mm。

2.炉体采用双层炉壳结构，双层炉壳之间装有风机，可以快速升降温，炉壳表面温度低。

3.炉管采用99高纯刚玉管或者高纯石英管、两端采用SUS304高真空法兰密封。

4.炉膛材料采用优质的进口氧化铝多晶纤维真空吸附制成，与传统硬质炉膛材料电炉相比节能性明显提高，具有较强的抗骤冷骤热性，加热炉膛由左右两部分组成，其中右部分炉膛可整体向右翻转110℃，方便取放实验物料、更换炉管。加热元件采用瑞典康泰尔电阻丝。

5、电炉温度控制系统采用人工智能调节技术，仪表控制精度为±1℃，具有PID调节、模糊控制、自整定能力并可编制各种升温程序，具有超高温报警功能，具有热电偶损坏断电功能，具有内置参数密码控制功能。

6、升温速度为0-20℃/min，可编写30段自动升温程序，可控硅控制，配备数显LED电压表、电流表。

7、可选配RS-485通讯接口，数据管理软件，具有无纸记录历史数据和升温曲线，校正温度偏离误差的功能，可以管理多台设备和远程故障诊断分析。

8、多种安全防护设计，安全性能好，使用寿命长。

9.真空度可以达到10pa（机械泵），如果需要更高真空度可以选择分子泵，达到6.67x10-3pa。

选配配置：

1、玻璃转子流量计、质子流量计和进出口管道

2、真空泵（机械泵、分子泵）

3、安装调试，培训

4、刚玉坩埚

5、备品备件

6、报警器（超温、设备异常）与蜂鸣器（设备运行结束提示）

7、自动进气（气体保护）、自动放气（超压）、自动抽真空

8、一路及多路CVD供气系统

9、真空计

GR.VTF系列真空立式管式炉型号及规格

：，欢迎

另：我公司可以根据客户具体要求进行非标设计与制造。