蓝鲸半导体晶圆五槽超声清洗设备配置：

槽：超声波清洗+过滤循环
功能：将清洗出来的浮油、杂质、粉尘过滤、节省清洗剂。

第二槽：超声波精洗
功能：经过槽清洗之后，在漂洗槽漂洗一遍，提高清洁度。

第三草：超声波漂洗
功能：使用超纯水作为清洗剂，使产品漂洗的更洁净。

第四槽：慢拉脱水
功能：有机溶剂慢拉脱水槽，采用酒精或者IPA作为脱水溶剂。连接冷水机控温5-35℃，降低溶剂挥发，保证使用环境安全。安装慢拉提升机构，使清洗产品缓慢提升，达到脱水无水印效果。

第五槽：热风烘干槽
功能：经过前4面道工序，5槽进行热风循环烘干，清洗物件烘干。

另外，定制其他功能如：滚筒、鼓泡、抛动、升降、风切等，可以按照您的尺寸规格订做，采用何种方案咨询我们销售工程，提供免费的技术方案规格书。