标准溅射

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参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-08-05 08:31:52
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深圳市奥坤鑫科技有限公司

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产品简介

沉积方向：向上或向下枪口尺寸：2~4英寸(基板:~6Inch)基板温度：Max500℃(连续使用标准值)系统控制：PLC+触控(手册)可选：预处理单元,衬底偏片,Max800℃全自动数控

详细介绍

            沉积方向： 向上或向下
枪口尺寸：2~4 英寸 (基板 : ~6 Inch)
基板温度：Max 500℃ (连续使用标准值)
系统控制： PLC + 触控 (手册) 
可选： 预处理单元, 衬底偏片, Max 800 ℃
           全自动数控，数据记录(PLC + PC)
           6~8 英寸枪口(基板 : 6~12 英寸)可能, 单室大小可变更 
溅射工艺参考





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