Standard PE-CVD

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参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-08-05 08:33:05
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深圳市奥坤鑫科技有限公司

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产品简介

PlasmaType：DirectPlasmaPowerSource：RF600W(13

详细介绍

            Plasma Type： Direct Plasma
Power Source： RF 600W (13.56 MHz)
Substrate Size：~ 6 Inch
Substrate Temperature：Max 500℃ (연속 사용 기준)
 System Control：PLC + Touch (Manual)
 Option ：Full Auto Control by Recipe, Data 
                Logging (PLC + PC): High Vacuum Unit  
CVD工艺参数




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