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其他厂商性质
深圳市所在地
Plasma Type： Direct Plasma
Power Source： RF 600W (13.56 MHz)
Substrate Size：~ 6 Inch
Substrate Temperature：Max 500℃ (연속 사용 기준)
System Control：PLC + Touch (Manual)
Option ：Full Auto Control by Recipe, Data
Logging (PLC + PC): High Vacuum Unit
CVD工艺参数
