SiGNUM™ RESM圆光栅系统

SiGNUM™ RESM圆光栅在高速和高温时能够保证精度、分辨率和重复精度。它还具有超低的周期误差和IN-TRAC™光学零位。RESM圆光栅的性能适于精度要求的测量场合。SiGNUM™还提供直线光栅。

SR读数头和Si接口盒的特性与优点

系统由SR读数头、Si接口盒和RELM 20 μm栅距的圆光栅组成。

● 动态信号控制确保周期误差为±30 nm，具有“精细栅距”光栅性能

● 工作速度达4 500转/分，工作温度达85°C

● 在大多数开放式光栅都不适用的条件下，仍具有优异的信号稳定性

● IP64“可反复使用的读数头”在被冷却液喷溅或浸没之后只需"擦拭干净”即可恢复原样

● Si接口盒提供具有工业标准的模拟和数字输出

● FANUC串行兼容接口 (Si-FN) 直接通过接口进行FANUC串行通讯，以提高性能并简化连接（Si-FN仅与直径为Ø52 mm、Ø104 mm、Ø209 mm和Ø417 mm的圆光栅兼容）

● 用户可选的AGC保持1 Vpp的模拟信号幅度

● 读数头和接口盒上的LED指示灯能够实现安装和系统诊断

● 高柔性、UL认可的电缆 — 在读数头和接口盒之间长达10 m

● 提供可选的IP68内置接头

RESM圆光栅的特性与优点

雷尼绍光栅尺

RESM圆光栅为一体式不锈钢圆光栅，其柱面上直接刻有20 μm栅距的刻线并具有IN- TRAC™自动调相光学零位。轻薄小巧的RESM有多种尺寸（直径从52 mm 到550 mm）和刻线数可供选择，具有内径大、安装灵活的特点。

● IN-TRAC™自动调相光学零位，在工作速度超过4,500转/分 (Ø52 mm) 且温度达85°C时具有双向、可重复功能

● 提供多种直径和刻线数，可与一系列具有行业标准的控制器兼容（直径从52 mm到550 mm，刻线数从8,192到86 400）

● 具有的锥面安装方式极大地降低了安装误差，简化了系统集成

● 刻划精度达±0.5角秒*，系统重复精度达0.02角秒（20 nm Si接口盒和Ø413 mm圆光栅）

● 10 mm x 10 mm小截面圆光栅

● 低质量与低转动惯量的设计增强了系统精度和动态性能

● 一体式不锈钢圆光栅能够抵御振动、机械和热撞击，以及热负载

● 为了保证更高的加速度和减速度以及更快的恢复时间，还可提供转动惯量极低的"B"截面圆光栅

● FANUC串行Si-FN接口与Ø52 mm、Ø104 mm、Ø209 mm和Ø417 mm圆光栅兼容

● 还可提供与部分圆弧应用相关的用户可选定位、双光学限位

SiGNUM™软件

SiGNUM™是计算机软件，可以实现全面的校正、设定优化及“实时”诊断，从而简化了系统安装和维护。Si接口盒通过一个微型USB接头连接在计算机上。

● 对包括信号强度表、利萨如 (Lissajous) 图形和IRED反馈表（AGC驱动）在内的信号水平和系统性能进行“实时”远程监控，可帮助系统实现优化

● 俯仰调节指示器可精细调整读数头俯仰度

● 光学零位信号和增量信号快速、简单的远程校准

● 在实时闭环操作过程中，通过USB对系统性能进行远程监控

● 系统在非状态（警告功能）和出现任何错误（报警功能）时向用户发出报警

● 技术“信息”指南提供系统功能和查错的上下文说明和详细解释

● 系统配置页面显示Si接口盒配置详细分辨率、时钟频率等信息

● 通过FANUC串行Si-FN接口可获得DRO功能

● 多语言用户接口可使用户从英语、德语、意大利语和日语中进行选择

技术规格

读数头尺寸 14.8 mm x 36.0 mm x 16.5 mm (H x L x W)

输出（分辨率） RS422：5 μm、1 μm、0.5 μm、0.2 μm、0.1 μm、50 nm、20 nm、10 nm、5 nm。

模拟：1 Vpp

FANUC串行：20位、23位、24位、25位、26位

细分 Si接口盒（x4至x4 000）

参考零位 IN-TRAC™自动调相光学零位

限位开关 用户定位的双光学限位

速度 4,500转/分

间隙公差 0.8 ±0.08 mm

栅尺类型 20 μm栅距RESM圆光栅

真空兼容 否

系统精度 — 20 μm栅距RESR与SiGNUM™

系统精度 — 20 μm栅距RESR与SiGNUM™

标称外径 (mm) 系统精度（角秒）

52 4.28

57 3.91

75 2.97

100 2.23

101 2.21

103 2.16

104 2.14

115 1.94

150 1.49

200 1.11