CLEAN ROOM SYSTEM 装置是皮带传动线性单元,是专为洁净室应用而设计的
该直线装置可以防止颗粒物被释放到其所在的环境中。实现的方法是通过使用一种特殊的直密封件,这种密封件封闭水平方向的开口(滑块在其中运动),还有一个 0.8 真空泵的运行,真空泵连接到位于驱动头和空闲头内部的 2 个真空管道。该系统允许在这个装置内产生真空,这样该系统运行时释放的任何颗粒物都会被吸向空气过滤区。Clean Room System 直线执行器的部件均采用不锈钢制成,或经过特殊处理,以确保低颗粒释放量。所有轴承和直线滑轨的润滑剂都是用于洁净室或真空环境的专用润滑剂。
如果该系统被用于脏环境中,这个 CLEAN ROOM SYSTEM 直线装置可被加压至 0.8 巴,以防止任何外部颗粒对平稳运行产生不利影响。
Clean Room System 直线装置的主要应用领域:
- 半导体
- 医疗