精密视觉对位平台，又称UVW平台、XXY对位平台，是一款高精密视觉对位机构，搭配CCD视觉使用，实现平面上的X-Y与θ角度的精密微调。广泛应用于半导体业的晶圆切割,封装检测,PCB制造业的曝光机,网印机,贴合机,压合机,PCB板裁切,手机制造业,LCD/LED面板制造业,太阳能产业的太阳能网版丝印刷等精密行业。

 相比于传统XYθ,XXY对位平台具有以下特点：

1、高对位精度

   XXY对位平台采用中国台湾进口高精度研磨丝杆与交叉导轨，平台的组装经影像检测仪、CCD视觉对位，确保平台的运行精度可达±2um。

2、结构更稳

   XXY对位平台采用四点共平面支撑，相对传统的XYθ三轴叠加结构，更加稳定，整体的负载可达400KG以上。

3、体积更小

   XXY对位平台结构为三轴驱动轴加一个自由轴，每个轴集合了一个单独的XYθ结构，且四点共面，整体空间更加精巧。平台最小尺寸可做到150mm台面。

4、型号规格齐全

   我司对位平台规格从150台面到550台面尺寸，另可定制更大尺寸与非标结构，满足客户不同的方案需求。

XXY对位平台的运行原理：