Semiconductor Chiller半导体冷水机

ZL系列Semiconductor Chiller半导体冷水机

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具体成交价以合同协议为准
2024-11-27 13:12:18
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成都中冷低温科技有限公司

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产品简介

Semiconductor Chiller半导体冷水机 ,主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精ZHUN控制,具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

详细介绍

Semiconductor Chiller半导体chiller半导体冷水机 ZL系列

适合元器件测试用设备,在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中,IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在多种温度下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。


Semiconductor Chiller半导体chiller半导体冷水机 ZL系列

本设备是一款水冷型冷水机,具有定时运转、液面下降、停电复归、水泵防冻结、可实现远程控制、可进行触摸屏操控等功能。


省空间、省配线、省配管、省工时、双变频型更节能。

可对应温度稳定性(空载时)±0.05℃。

循环液:氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去离子水(纯水)

冷却方式:水冷式

性能特点

本设备性能优异,体积小、噪音低、耗电量低、热效率高且可根据需求定制,控制精度可达±0.05℃,适用于温湿度控制良好的环境,具有定时运转、温度补偿、实现自我诊断等功能,且可实现过热、过载、缺水等多重报警功能,远程控制方便,可以实现RS232、RS485、ETH等多种不同通讯方式控制。



应用领域

应用于半导体行业蚀刻装置,CMP (工艺机械抛光)实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

可对应温度稳定性(空载时)±0.05℃。










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