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三丰表面粗糙度轮廓测量仪SV-C310/4100大幅提高的驱动速度(X 轴: 80 mm/s, Z2 轴立柱: 20mm/s) 进一步减少了总的测量时间。为了更长时间地保持直线度,三丰公司采用了抗老化且极耐磨的坚固的陶瓷导轨;驱动器 (X 轴) 和立柱 (Z2 轴) 均配备了高精度线形编码器 (其中Z2 轴上为ABS 型)。因此,在垂直方向对小孔连续自动测量、对较难定位部件的重复测量的重复精度得以提高。
三丰表面粗糙度轮廓测量仪SV-C310/4100特点
三丰表面粗糙度轮廓测量仪SV-C310/4100技术参数
轮廓测量
X轴测量范围:100mm或200mm
分辨率:0.05μm
检测方法:反射型线性编码器
驱动速度:80mm/s、外加手动
测量速度:0.02-5mm/s
移动方向:向前/向后
直线度:0.8μm/100mm,2μm/200mm*以X轴为水平方向上
直线位碟±(1+0.01L)μm(SV-C3100S4,H4,W4)
精度(20°C时)±(0.8+0.01L)μm(SV-C4100S4,H4,W4);±(1+0.02L)μm(SV-C3100S8,H8,W8);±(0.8+0.02L)μm (SV-C4100S8,H8,W8) *L为驱动长度(mm)
倾角范围:±45°Z2轴(吨?
垂直移动:300mm或500mm
分辨率:1μm
检测方法:ABSOLUTE线性编码器
驱动速度:0-20mm/s、外加手动Z1轴(检测器)
测量范围:±25mm
分辨率:0.2μm(SV-C3100), 0.05μm(SV-C4100)
检测方碟线性编码器(SV-C3100), 激光全息测微计(SV-C4100)
直线位移:±(2+I4HI/100)μm(SV-C3100)精度(20°C时)±(0.8+I0.5HI/25)μm(SV-C4100)*H:基于水平位置的测量高度(mm) 测针上/下运作:弧形移动
测针方向:向上/向下
测碟30mN
跟踪角度:向上:77°,向下:87°(使用配置的标准测头,依表面粗糙度而定)测针针尖半径:25μm、硬质合金
表面粗糙度测量
X1轴 测量范围:100mm或200mm
分辨率:0.05μm
检测方法:线性编码器
驱动速度:80mm/s
移动方向:向后
直线度:(0.05+1.5L/1000)μm(S4,H4,W4型)0.5μm/200mm(S8,H8,W8型)Z2轴(立柱)
垂直移动:300mm或500mm
分辨率:1μm
检测方法:ABSOLUTE线性编码器
驱动速度:0-20mm/s、外加手动检测器
范围/分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm(2400μm使用测头选件)
检测方法:无轨/有轨测量
测力:4mN或0.75mN(低测力型)
测针针尖:金刚石、90o/5μmR(60o/2μmR:低测力型)
导头曲率半径:40mm
检测方法:差动电感式