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测头型号 | F1 | N1 | F10 | F400 | |
工作原理 | 磁感应 | 电涡流 | 磁感应 | 磁感应 | |
测量范围(um) | 0-1250 | 0-1250 | 0~10000 | 0-400 | |
低限分辨力(um) | 0.1 | 0.1 | 1 | 0.1 | |
示值误差 | 一点校准(um) | ±[3%H+1] | ±[3%H+1.5] | ±(3%H+5) | ±[3%H+0.5] |
两点校准(um) | ±[(1~3)%H+1] | ±[(1~3)%H+1.5] | ±[(1~3)%H+5] | ±(1~3) %H+0.5 | |
测量条件 | 最小曲率半径(mm) | 凸1.5 | 3 | 10 | 1 |
基体最小面积的直径(mm) | ф7 | ф5 | 40 | ф3 | |
最小临界厚度(mm) | 0.5 | 0.3 | 2 | 0.2 |
注:H—测量厚度值