tlyon000292-干式氦气检漏仪 UL1000 Fab-成都图拉扬科技有限公司手机版

详细介绍

产品名称：干式氦气检漏仪 UL1000 Fab

订货号：tlyon000292

品牌名称：美国INFICON

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干式氦气检漏仪 UL1000 Fab

ULTRATEST™ 传感器技术

稳定性和灵敏度的新疆界，

检漏低达 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的真空结构，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。软件 I-CAL（智能泄漏率计算法）让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼，因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

使用额外的 TC1000 测试盒配件，UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试，如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管（根据 MIL-STD 883，方法 1014）。

功能

15 级的宽测量范围

较短的抽气和响应时间

移动式全金属外壳，增加了便利性，具有可操作性

I-CAL 确保了在所有测量范围中提供的泄漏响应时间

抑零功能和自动积分时间校正，可提供快速、可靠的测试结果

含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计，提供较高氦气抽气能力和高压缩比

旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互

自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染

自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试

通过电子邮件进行软件更新

含两个灯丝离子源（3 年质保）的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本

内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果

典型应用

对半导体加工工具执行维护作业，无论是否具有自有泵支持

需要较高抽气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用

在现有工具中安装前对部件执行检漏

工艺气体系统的检查和安装

内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试

规格

类型 Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab

氦气（真空模式）可检漏率 mbar•L/s <5E-12

氦气（真空模式）可检漏率 mbar•L/s <5E-12

氦气（吸枪模式）可检漏率 mbar•L/s 5E-8

MASSIVE 模式进气口压力 mbar 1000

GROSS 模式进气口压力 mbar 15

FINE 模式进气口压力 mbar 2

ULTRA 模式进气口压力 mbar 0.4

抽真空期间的抽气能力 m³/h > 30 at 50 Hz

抽真空期间的抽气能力 m³/h > 30 at 50 Hz

GROSS 模式氦气抽气能力 L/s max. 8

FINE 模式氦气抽气能力 L/s 7

ULTRA 模式氦气抽气能力 L/s 2.5

ULTRA 模式氦气抽气能力 L/s 2.5

可检测质量数 2,3,4 amu

质谱仪扇形场 180°

灯丝离子源铱/氧化钇涂层 2

内置校准漏孔 mbar•L/s e-7

测试端口 DN 25 KF 1

可调触发器
2

接口 2 x USB, Ethernet / LAN

接口 2 x USB, Ethernet / LAN

图形记录器输出 V 2 x10

输入/输出 PLC compatible

输入/输出 Via I/O 1000 module

允许的环境温度（操作过程中） °C +10.....+40

保护类型 IP 20

重量

120

重量

120

重量

120

尺寸（长x宽x高） mm 1050x472x987

尺寸（长x宽x高）

1050x472x987

电源电压 V (ac) 230 (+-10% )50Hz

电源电压 V (ac) 230 (+-10% )50Hz

电源电压 V (ac) 230 (+-10% )50Hz

电源电压 V (ac) 230 (+-10% )50Hz

功耗 VA 1100

功耗 VA 1100

零件号

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab

零件号明细

550-100A ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug

550-101A ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

附件

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab

零件号明细

14005 SL200，UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头，4 米长

14022 RC1000 extension cable, 8 m

14090 LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000

551-000 Toolbox, detachable,for UL1000

551-001 Helium Bottle Holder for UL1000/5000

551-002 ESD Mat for UL1000/5000

551-005 TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band

551-010 遥控器 RC1000C，有线，带 4 米卷线

551-015 遥控器 RC1000WL，无线，包括无线发射机

551-020 RC1000WL 用无线发射机

类型		Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦气（真空模式）可检漏率	mbar•L/s	<5E-12
氦气（真空模式）可检漏率	mbar•L/s	<5E-12
氦气（吸枪模式）可检漏率	mbar•L/s	5E-8
MASSIVE 模式进气口压力	mbar	1000
GROSS 模式进气口压力	mbar	15
FINE 模式进气口压力	mbar	2
ULTRA 模式进气口压力	mbar	0.4
抽真空期间的抽气能力	m³/h	> 30 at 50 Hz
抽真空期间的抽气能力	m³/h	> 30 at 50 Hz
GROSS 模式氦气抽气能力	L/s	max. 8
FINE 模式氦气抽气能力	L/s	7
ULTRA 模式氦气抽气能力	L/s	2.5
ULTRA 模式氦气抽气能力	L/s	2.5
可检测质量数		2,3,4 amu
质谱仪扇形场		180°
灯丝离子源铱/氧化钇涂层		2
内置校准漏孔	mbar•L/s	e-7
测试端口	DN 25 KF	1
可调触发器		2
接口		2 x USB, Ethernet / LAN
接口		2 x USB, Ethernet / LAN
图形记录器输出	V	2 x10
输入/输出		PLC compatible
输入/输出		Via I/O 1000 module
允许的环境温度（操作过程中）	°C	+10.....+40
保护类型		IP 20
重量
120
重量
120
重量
120
尺寸（长x宽x高）	mm	1050x472x987
尺寸（长x宽x高）
1050x472x987
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
功耗	VA	1100
功耗	VA	1100

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号	明细
550-100A	ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A	ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号	明细
14005	SL200，UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头，4 米长
14022	RC1000 extension cable, 8 m
14090	LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-000	Toolbox, detachable,for UL1000
551-001	Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002	ESD Mat for UL1000/5000
551-005	TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010	遥控器 RC1000C，有线，带 4 米卷线
551-015	遥控器 RC1000WL，无线，包括无线发射机
551-020	RC1000WL 用无线发射机

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功能

典型应用

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