美国ZYGO白光干涉仪8300

　　NewView 8300系列的3D光学表面轮廓仪可以提供强壮的多功能的非触摸式光学表面描摹丈量剖析。一切的丈量都无损、快速，并且不需要样品制备。强壮的剖析软件可以准确的描绘和定量剖析表面粗糙度、台阶高度、要害标准和其它描摹特征。使用zygo的相干扫描干与技能，NewView 8300系列轮廓仪可以很简单的丈量各种材质表面，包含光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和台阶面等。

　　系统参数：

　　◆原理:非触摸、三维白光扫描干与仪

　　◆扫描设备:闭环反应压电陶瓷，高线性电容传感器

　　◆视场:规范配置：0.04-16mm，跟物镜和扩大倍率有关,运用图像拼接技能可以得到更大规划

　　◆视场扩大倍率：高质量分立扩大倍率镜头：0.5X,0.75X,1X（标配），1.5X,2.0X

　　◆光源:均匀成像，高效率，特别规划长寿命白光LED

　　◆物镜座标配:可快速装卸单物镜夹具

　　◆控制:滤光板托架，视场光阑（辅助集合）

　　◆丈量阵列:标配1024×1024像素；可选分辨率：512×512，1024X160像素

　　◆样件查询:专用液晶显示屏实时查询

　　◆精细集合:电控手动和主动集合

　　◆Z轴驱动:直流无刷微步进电机驱动，100mm行程,0.1μm精度

　　◆标准:系统标准：151×73×61cm，NewView：75×64×56cm，隔振途径：76X61X61mm

　　◆分量:系统分量：约229Kg

　　◆输入电压:100-240VAC,50/60 Hz

　　◆计算机:带液晶显示器的高性能DELL计算机

　　◆软件:ZYGO MX软件

　　◆物镜座:标配：可快速装卸单物镜夹具,选配：手动4位塔台和电动4位塔台

　　◆物镜：1X，2X，2.75X，5.5X，10X，20X，50X，100X。

　　◆塔台:手动6位塔台；电控64位塔台；

　　◆样品台:俯仰(±4°)和XY平移(100mm)和电动/俯仰(±4°)和XY平移(150mm)电动可选

　　◆纵向扫描规划:150μm，拓宽扫描方式可到20mm,

　　◆纵向分辨率＜0.1nm,横向分辨率0.34μm（100X物镜下）

　　◆扫描速度≤96μm/sec,与所选的CCD和扫描方式有关

　　◆zui大数据点:规范307200；可选984064；

　　◆RMS重复性＜0.01 nm，RMSσ

　　◆台阶丈量：准确度≤0.75%;重复性≤0.1% 1σ

　　◆倾斜表面丈量：光滑表面55度，散射表面86度。

　　◆测样品特性:各种资料的表面：透明，不透明，镀膜,非镀膜，反射，弱反射

　　◆反射率:0.5-

　　◆zui大标准:89×203×203mm(高×宽×长);