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芯明天压电物镜定位器 P73.Z500系列压电物镜定位器为大行程压电物镜定位器,Z轴直线运动范围可达550μm,采用柔性铰链设计机构,无摩擦、运动直 线性好且闭环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计,可适配多种型号的显微镜,广泛应用于大范围显微成像、双光子显微镜等领域。
特性:
• 行程550μm
• 负载0.4kg
• 毫秒级响应时间
• 闭环重复定位精度高
• 聚焦稳定性好
典型应用
• 三维成像 • 干涉/计量 • 生物科技
• 表面结构分析 • 共焦显微 • 半导体测试
螺纹适配器便于安装
芯明天压电物镜定位器 P73物镜定位器与物镜之间通过适配器连接,将物镜快速锁定在 预期位置 。 多种螺纹 牙 可 选 , 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于与显 微镜集成安装。
大行程、响应速度快、分辨率高
P73压电物镜定位器是大行程、高速、压电陶瓷驱动的聚 焦显微扫描装置,产品体积小但可实现的位移高达550μm。
P73采用柔性铰链导向机构,无机械摩擦、无机械间隙、 纳米级分辨率,具有超高的定位精度及超快的响应速度。
该系列压电物镜定位器具有大刚度、谐振频率高等特 点,可以实现满行程20ms的阶跃时间,负载 150g后阶跃时 间小于30ms且重复度达满行程的0.05%F.S.。
P73压电物镜定位器可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡 等多种标准镜头。它也可以通过适配器与手动调节台相结合 使用。
技术参数:
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P73.Z500S P73.Z500K |
单位 |
运动自由度 | Z |
| |
标称行程范围(0~120V) | 400 | μm±20% | |
行程范围(-20~150V) | 550 | μm±20% | |
传感器类型 | SGS/- |
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闭/开环分辨率 | 18/7 | nm | |
闭环线性度 | 0.1/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.05/- | %F.S. | |
推/拉力 | 80/10 | N | |
运动方向刚度 | 0.2 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | 170 | Hz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 20/10 | ms±20% | |
闭环空载工作频率 | 10%行程 | 40 |
Hz±20% |
99%行程 | 10 | ||
承载 | 0.4 | kg | |
静电容量 | 14 | μF±20% | |
材质 | 钢、铝 |
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重量 | 450 | g±5% |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。