适用于不锈钢电解抛光等金属电解抛光场所

电解抛光原理

电解抛光（Electro-polishing，简称EP）的原理是将工件接于阳极并置于电解液中通直流电，利用电解作用将工件最表层之金属及杂质溶解移除，使工件表面平坦滑顺、洁净无瑕、光泽明亮，更可提升表面的抗腐蚀性，可说是的表面亮化方法。

半导体制程中，气体供应之零组件相当要求洁净性、表面平滑性及抗腐蚀性等，目前适用于半导体组件的表面处理方法有数种，其中电解抛光法因具有以下特性，已成为半导体制程中重要的阀件、管件及其零组件等流路内部之表面处理的主要方法。

电解抛光法之特性：

(1)　钝化层

不锈钢材料在进行电解抛光处理时，藉由电化学的原理，适当地调整电压、电流、酸液成分、温度及抛光时间，便可控制加工表面的氧化铬薄膜厚度，使不锈钢管达到的抗蚀性。

(2)　高洁净度

电解抛光之制程系将工件最表层移去，因此表面之杂质层、氧化层、残留应力层等，皆会被移除，加工完成后可获得非常平坦的表面，没有可以藏污纳垢的凹陷，因此可使工件在使用时，表面达到高洁净度。

(3)　适合薄型工件及特殊形状加工

电解抛光加工过程中，工件是泡在电解液中，所以不受任何应力，不会有表面加工变质层及造成表面残留应力，但可溶解除去前制程中，零件表面因机械加工而产生的应力层。因此，电解抛光非常适合处理薄型工件及特殊形状工件，且对于小型工件，可大量一次进行而减少加工时间。

电解电源特点

1、技术含量高:

核心部件采用国际技术产品,控制电路采用专有技术,稳压性能强,提高了工作效率。

2、可靠性强:

保证设备安全运行,减少故障发生,保护齐全,隔离及防腐措施合理

3、控制精度高:

由于系统反应速度快（微秒级），对于网电及负载变化具有的适应性，输出精度可优于1%。开关电源的工作效率高、所以控制精度高，有利于提高产品质量。

4、节电效果好:

较可控硅整流器可节电10%-30%,对企业降低成本定会发挥重要作用。

5、灵活性强：

输出电压、电流可调，限压、限流可调，大大提高客户使用灵活性。

6、保护功能齐全：

软启动保护，输入交流欠压、过压保护，输出过流、过热保护功能。

7、输出波形易于调制：

由于工作频率高，其输出波形调整相对处理成本较低，可以较方便的按照用户工艺要求改变输出波形。这样对于工作现场提高工效，改善加工产品质量有较强作用。

8、寿命长：

水冷系列采用密封及水冷结构，功率部件通过水冷却，延长了其使用寿命，可使用自然水或洁净自然水冷却；风冷系列采用独立隔离风道从而确保其具有较高的防腐等级。