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曝光机
半导体晶圆热处理设备
介绍:无尘无氧化烤箱是研发部门为苏州晶方半导体有限公司的12寸晶圆生产工艺而研发的采用镜面不锈钢作为内胆经过一次成型处理以保证含氧量达到20ppm以下
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