产品

683B-23795 MKS排气节流阀设计用于调节和控制工业过程中的排气流量。它提供精确可靠的废气节流，实现高效的过程控制。

特征

特点和优点

•设计符合ODVA规范，确保无缝集成

•紧凑的压力控制系统集成了节流阀组件内的控制、通信和阀门驱动电路

•两个内置报警跳闸点承受状态指示器提供硬线安全联锁-可编程用于压力、位置，或设定点限制

•压力控制（PID）和挡板位置控制的可配置操作模式

•数字数据传输提供了对系统噪音的灵活性

•智能属性提供了对关键设置和运行时间参数的监测和控制

•的线性阀门传输特性提供了平滑的线性压力控制

•有流行的ISO法兰样式可供选择•密封尺寸最多可提供2“孔683B阀门解决方案ISCONTINUED

MKS 683型智能排气节流阀专为需要简单压力控制系统的计算机集成应用而设计。683通过一个紧凑的“附加”电子模块将所有控制、通信和驱动电路集成到MKS 253型节流阀总成上，从而无需安装单独的压力控制电子模块。第二代PID控制算法可以进行调整，以驱动系统快速设定点，并在无操作员参与的情况下确保可重复的工艺配方。回路调谐参数可调节，以适应系统参数的变化。

683型节流阀有两种模式：挡板定位或压力控制，其中任何一种都可以通过网络通信接口由用户激活。所有可调整的设置参数、运行时操作和诊断信息都可以通过网络通信接口获得。683型还包括可调节的软启动功能，用于改变设定值，以限度地减少湍流，从而减少室内的颗粒分布。两个报警继电器输出可在规定的压力、阀门位置或设定点偏差设置下调节跳闸。683型被设计为与MKS Digital Baratron®电容式压力计兼容，以提供通过网络进行闭环压力控制所需的所有组件。或者，683型将接受来自传统模拟Baratron电容式压力计的0-10 VDC信号，用于闭环控制。这种下游压力控制技术提供了宽的动态范围，适用于所有类型的泵，提供快速响应，并能耐受大多数废气。

683B-23795 MKS排气节流阀是一款高质量的阀门，旨在调节工业应用中的废气流量。它提供了对气体流量的精确控制，从而在各种过程中实现性能和效率。该阀门的建造考虑到了耐用性和可靠性，即使在苛刻的环境中也能确保长期运行。其简单的安装和维护程序使其成为工业设置的方便选择。

应用领域

683B-23795 MKS排气节流阀可应用于半导体制造、真空系统、工业过程控制等领域。