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喷管作为喷嘴的陶瓷材料有很多种,常用的有氧化铝、碳化硅、碳化硼等。氧化铝陶瓷喷嘴价格低廉,但由于硬度低、耐磨性差,多用于喷砂工作量少的场合。
其寿命是氧化铝陶瓷的315倍,相当于硬质合金,主要用于代替硬质合金,实用的碳化硅密封环特别是手持式喷枪。SIC-2型碳化硅陶瓷韧性好,适用于喷砂冲击振动状况。
磨床是制造半导体行业超大型集成电路用硅片的重要工艺设备。常用的铸铁或碳钢磨床寿命低,热膨胀系数大。硅片,特别是高速研磨、研磨时,由于研磨盘的磨损和热变形,很难保证硅片平面度的和平行度。碳化硅密封件供应商由碳化硅陶瓷制成的研磨盘硬度高,研磨盘磨损小,热膨胀系数与硅片基本相同,可以高速研磨、研磨。特别是近年来硅片的尺寸增大,对硅片的研磨质量和研磨效率提出了更高的要求。采用碳化硅陶瓷研磨盘,可以大幅度提高硅片的研磨质量和效率。同时,碳化硅陶瓷研磨盘也可用于研磨其他材料的片状或块状物体的平面。