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薄膜压力传感器芯体。采用离子束溅射技术直接淀积在17-4PH弹性元件上(SiO2保护层、NiCr合金电阻层、Au焊盘,总厚度小于4um),刻蚀形成金属应变电阻,实现敏感元件无机的一体化,克服了有机胶带来的蠕变、滞后和老化现象,大大提高了产品的精度和长期稳定性,可长期在-40~150℃工作温度下稳定工作。
·长期稳定性好,工作温度范围宽,温漂小,抗振动,抗冲击
·不锈钢结构,激光焊接,外形尺寸小,结构紧凑
·适用石油测井、内燃机、装载机、试验机等高温高压恶劣环境的测量
◆主要技术参数
量 程:0-10,20,30,40,50,60~100MPa
综合精度:0.1%FS、0.2%FS、0.5%FS
输出信号:1.0/1.5/2mV/V
输出阻抗:3.5KΩ±500Ω
供电电压:10VDC (6~12VDC)
介质温度:-40~150℃
环境温度:常温(-20~150℃)
绝缘电阻:大于2000MΩ (100VDC)
密封等级:IP68
长期稳定性能: 0.1%FS/年
振动影响: 在机械振动频率20Hz~1000Hz内,输出变化小于0.1%FS
电气接口:高温引出线
机械连接:M10×1、M12×1 ,其它螺纹可依据客户要求设计
外形尺寸::M10×Φ17×55
外形尺寸