气体流量传感器 - LMM-H03
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深圳市汉迪科技有限公司
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产品描述: MEAS的气体流量传感元件由快速响应的镍热膜和氮化硅基板组成，以确保传感器的高灵敏度和快速响应速度。传感器适合汽车行业的应用。芯片还包括一个用于补偿环境温度的参考传感器，由与热膜相同材料的镍电阻薄膜制成。该型号利用两片热膜进行双向测量，用于补偿的参考传感器则置于另一块基板上，测量实际空气温度。
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