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特征:
属非接触测量,不会划伤工件表面,可消除在高级别粗糙度测量时,测尖无法进入谷底而带来的测量误差。特别适用于对超精后工件表面粗糙度的测量(表面粗糙度值很小时,本仪器相对触针式测量有着相对准确的测量结果) 。
由于激光的相干性好,使测量系统结构简单,且免去了一般光源干涉测量仪器视场过小带来的诸多不便。
仪器结构设计合理,数学模型建立完善,大大减少了因光源变化、工件表面反射系数不同及外部干扰可能带来的误差,示值稳定可靠,测量精度高。
仪器调整简单,操作方便,效率高,特别适用于车间工序间或检查站,是企业内部工序间质量控制的重要手段。