1

机台整机规格

1820mm(W)×1100mm(D)×1860mm（H）

2

真空室规格

进口合金铝1140(W)×1550（D)×1130(H) mm

3

电极板规格

16层垂直式式电极板（850mm×550mm）

4

控制系统

PC工控系统+PLC自动控制

5

真空测定系统

皮拉尼电阻式真空计

6

气体计量系统

精确质量流量控制计 MFC

7

气体路数

2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2

8

等离子发生器

10KW等离子体发生源（40KHz，可选13.56MHz）

9

工作气体

2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2

特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。

用 途：适用于印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。

1、印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污，软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。

 2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗。

 3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。