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| 检测元素范围 | WDS：(Be)*1 /B～U, EDS：B～U |
| X射线检测范围 | WDS检测的波长范围: 0.087～9.3nm, EDS EDS检测的能量范围: 20keV |
| 分光谱仪数量 | WDS: 1～5道可选、EDS: 1台 |
| 样品尺寸 | 100mm × 100mm × 50mm（H） |
| 加速电压 | 0～30kV（以0.1 kV为步长） |
| 束流电流范围 | 10-12 ～ 10-5 A |
| 束流电流稳定度 | 5%/h, ±0.3%/12h（W） |
| 二次电子分辨率 | 6nm（W）, 5nm（LaB6）*2 （W.D. 11mm, 30kV） |
| 扫描倍率 | ×40 ～ ×300,000（W. D. 11mm） |
| 扫描图像分辨率 | 5,120× 3,840 |
| 彩色显示器 | EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024 SEM操作、 EDS分析用: LCD 1,280 × 1,024 |
| 光学显微镜 | |
| 分辨率 | ～1um |
| 焦深 | 1um |
| 真空系统 | 机械泵、分子泵、离子泵 *2 |
| 真空度 | 样品室: 优于8.0 x 10-4Pa, 电子枪: 优于9.0 x 10-5Pa |
