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检测元素范围 | WDS: Be＊1 / B to U, EDS: Be to U |
检测X-ray 范围 | 波长范围WDS: 0.087 to 9.3 nm 能量范围EDS: 20 keV |
谱仪数 | WDS: 最多5个可选, EDS: 1个 |
样品尺寸 | 100 mm × 100 mm × 50 mm (H) |
加速电压 | 0.2 to 30 kV (0.1 kV steps) |
探针电流范围 | 1 pA to 10 μA |
探针电流稳定性 | ± 0.05％ / h, ± 0.3％ / 12 h（W） |
二次电子像分辨率（观察模式） | 6 nm（W）, 5 nm（LaB6）＊3 |
扫描放大倍率 | ×40 to 300,000 (W.D. 11 mm) |
扫描图像分辨率 | Maxium 5,120 × 3,840 |
