等离子清洗设备常用的频率有哪些呢？下面让我们一起来看看。

　　1：25-40kHz，通常叫发中频、超声等离子清洗机电源，中频等离子的自偏压为1000V左右，应用于较大容积的真空腔体，特点是等离子能量高，但是等离子密度小，无需匹配，。常规是5千瓦至20千瓦。另外在大气等离子清洗机中一般也采用相对比较容易激发的中频等离子电源，这个频率特点在实际应用表面处理时侧重利用所激发状态下的离子的物理性能。

　　2：13.56MHz，射频，常用的等离子清洗机电源，射频等离子体的自偏压为250V左右，在体积相对较小表面处理要求较高的真空腔体中应用广泛，特点是等离子能量相对较低低，但是等离子密度高。效果均匀，但成本稍高。常规是100瓦至1250瓦。这个频率特点在实际应用表面处理时兼顾利用所激发状态下的离子的物理性能和化学性能。

　　3：2.45GHz，微波，成本太高，微波等离子体的自偏压只有几十，目前商业生产应用较少偏向在实验室中的小体积的钟罩式微波等离子清洗机、这种等离子能量更低，但密度更高。这种频率特点在实际应用表面处理时偏向利用所激发状态下的离子化学性能。

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