项目

参数

备注

流量范围

标准四路

100SCCM  500SCCM  2SLM  5SLM

(其他量程可定制，至大量程不超过30SLM)

精度

±1%F.S.

其他精度可选

响应时间

2秒

重复性

0.2%F.S.

单路重复精度0.2%F.S.

截止功能

≤0.6MPa

标配，位于总出气口，常闭截止阀

整机尺寸

490mm×500mm×200mm

深×宽×高

供电电压

220VAC

100W

单项功能

√

4路标配，位于混气前，避免气体返流

自动进气

√

4路标配，按时间和流量自由编辑

10段数据点，3组数据切换，任意循环（定制）

可实现：浓度配气，时间配气，压力配气

自动报警

√

标配，自动报警，自动关断，实时监控设备状态

数据处理

√

标配，数据记录保存，导出到U盘进行存储

外接通讯

可选

MODBUS-RTU

漏率

＜1×108atm.cc

/sec He