RIBE215/450 ISA200离子刻蚀设备

RIBE215/450 ISA200离子刻蚀设备

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具体成交价以合同协议为准
2024-10-11 09:28:25
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昆山普奥亚光学技术有限公司

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产品简介

+ 适用于惰性气体离子束刻蚀IBE+ 反应气体离子束刻蚀RIBE+ 化学辅助离子束刻蚀CAIBE+ 良好的一致性,的灵活性, 应用范围广+ 加工重复性好, 运行成本低 在线订购

详细介绍

设备型号

R-IBE215

R-IBE450

ISA200

加工范围

215mm

450mm

200mm

工件厚度

20mm

50mm

50mm

工件重量

2Kg

50Kg

2Kg

接触角

0-90°

0-90°

0-180°

旋转速度

0-10RPM

加工面形

凸面,凹面,平面,球面,非球面,自由曲面

加载过渡舱

提供加工过渡舱装置,加载时间<2分钟

轴数

4(X,Y,A,B)

5(X,Y,Z,A,B)

3(X,A,B)

行程

X>500mm

Y=300mm

A+/-90°

B=360°

X=1100mm

Y=300mm

Z=300mm

A=0-90°

B=360°

X=300mm

A=0-120°

B=360°


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