质量流量计是半导体制造设备中非常关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。 

HORIBA STEC, 作为范围内超过35%*1的流量计生产商, 长期以来始终如一的为半导体工业提供高质量、多功能的产品。现在，手携全新的技术，HORIBA STEC 正在向推广新型的质量流量控制器： Z500系列。 

相对于旧有的型号，Z500X 系列实现了全新的突破， 而且注定将改变流量控制技术的未来。在提供客户所需流量控制的所有功能的同时, 实现了复合气体、复合流量的转换。客户可以根据制程需要，轻松地更改流量计气体种类和量程*2。 

此外，藉由产品材料的技术革新， Z500系列全面满足了 RoHS 绿色产品的设计要求，为客户提升产品价值。 

高性能的Z500系列流量计，将带给您更多惊喜。正见证着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。 

*1 参考 VLSI's 2007 研究报告。
*2 复合气体、复合流量功能。