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INFICON(膜厚控制仪、真空计/真空规、四极质谱仪、压强控制系统、氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、真空阀门) COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源) VARIAN、PFEIFFER真空泵等;气体压力及流量测量和控制

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