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利用微小的X射线束流来进行微小的异物分析
虽然从微小的异物得到的信号量不随照射异物的X射线束流大小而改变,但是从底材得到信号随着束流的减小而减小,相对来说,从异物得到的信号跟底材的比增强。于是,微小的X射线束流在进行微小的异物和样品时,发挥着重要的作用。
方便简单的多点分析和成像
利用多彩的扫描方法,自动的测量样品的表面,简单明了的表示出2维或者3维的元素分布,膜厚组成分布等的成像。
自动完成分析报告
如果以A来表示含有异物分的能谱、以B来表示正常
部分的能谱、那么A-B表示的差就是能谱差异。中心
线在边界的正方向表示出来的曲线是异物的成分,
在负方向表示出来的曲线是素材的成分。利用这个
能谱的差异,可以简单的同定出异物。
产品规格
可测元素: Na-U 定性功能: KLM标示、ROL设定 检测器: Si Li半导体检测器 元素分析: 自动辨别测量 准直器: 2个(自动设定) 应用功能: 用户自主设定 滤波器: 一次滤波器(自动设定) 自动测量: 三维电动控制 样品观察: CCD摄像机 数据处理: MS-EXCEL搭载 测定软件: 薄膜FP法、检量线法 报告生成: MS-WORD搭载