MF 176系列-测量显微镜

一、技术参数

观察图像：   正像

目镜：       10×，15×，20×

物镜：       3×（375-037），W.D：72.5mm

             可选：1×，5×，10×，20×，50×，100×

显示装置

    轴数：   2轴（MF-A型）或3轴（MF-B型）

    分辨率： 0.001mm/0.0005mm/0.0001mm

             .0001"/ .00005"/ .00001"

    功能：   调零，方向转换，数据输出（RS-232C接口）

二、性能参数

型号

MF-＊505B

MF-＊1010B

MF-＊2010B

MF-＊2017B

MF-＊3017B

MF-＊4020B

货号

MF-A 型

176-561DC

176-562DC

176-563DC

176-564DC

176-565DC

176-566DC

MF-B 型

176-581DC

176-582DC

176-583DC

176-584DC

176-585DC

176-586DC

XY工作台行程范围

50＊50mm

100＊100mm

200＊100mm

200＊170mm

300＊170mm

400＊200mm

Z轴行程范围

150mm

150mm

150mm

220mm

220mm

220mm

调焦方式

手动调焦（粗调焦：10mm/rev.，微调焦：0.1mm/rev.）

测量方法

线性编码器（2轴型号：X/Y轴，3轴型号：X/Y/Z轴）

分辨率

0.001mm/0.0005mm/0.0001mm/ .0001"/ .00005"/ .00001"

测量精度(20℃)

XY轴：（2.5+0.02L）μm，L为无负载测量长度（mm），JIS B 7153

指示精度(20℃)

Z轴：（5+0.04L)μm，L为测量长度（mm）

移动功能

带有快速断开机构得X和Y轴

XY工作台台面尺寸

280＊280mm

280＊280mm

350＊280mm

410＊342mm

510＊342mm

610＊342mm

载物玻璃有限尺寸

180＊180mm

180＊180mm

250＊150mm

270＊240mm

370＊240mm

440＊240mm

旋转功能

——

——

——

±5°(left)

±5°(left)

±3°(left)

zui大工件重量

10KG

10KG

20KG

20KG

20KG

15KG

zui大工件高度

150mm

150mm

150mm

220mm

220mm

220mm

电源

220/240V AC  50/60HZ

型号

TM-505

TM510

货号

176-811＊

176-812＊

XY工作台行程范围

50×50mm

100×50mm

测量方法

微分头(选件)

微分头(选件)

移动功能

—

—

XY工作台面尺寸

152×152mm

240×152mm

工作台有效范围

96×96mm

154×96mm

zui大工件高度

115mm

107mm

zui大工件重量

5kg

5kg

备注

—

—