TK SCT高流量气动隔膜阀

TK SCT高流量气动隔膜阀

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2012-11-22 09:42:29
147
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上海网磁电子有限公司

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产品简介

详细介绍

 

 

STD型
半导体制造过程中,无论是高纯度的大宗气体或工艺冷却水分配系统,
都可能需求zui高级别的阀门,保证无泄漏,洁净,高流动性和安全性,
TKSCT高纯各类阀门以zui低的成本满足安装所需,从而TKSCT高纯阀成为
世界各地的工厂的阀门。
主要技术参数:

Size
1/2″, 3/4″
Cv Value
3.5
Max. Working Pressure(G.)
1.5MPa
Operating Pressure (G.)
0.5~0.7MPa
Max. Working Temp.
-10~ 65
Internal Leakage Allowance (He)
1x10-10 Pa · ?/s
Test Pressure ≤ 1×10-2 Torr
Holding Time ≥ 15 sec.
External Leakage Allowance (He)
1x10-10 Pa · ?/s
Test Pressure ≤ 1×10-2 Torr
Holding Time ≥ 1 min.
Particle Inspection (EP only)
No count
Pressure : 60~80psi N2 Gas
Sample Volume : 1CFM
0.1? and Larger

 
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