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测定范围 | Z:800μm X:120mm |
取样数/分解能 | 32,000点/16bit |
真直度精度 | 0.2μm/120mm |
测定倍率 | 纵:50~500,000 横:1~5,000 |
测量速度 | 0.05~5mm/s |
上下移动范围 | 320mm |