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所在地
结构・方式 | 多孔质空气轴承・检测器式回转 |
回转精度 | 0.05μm |
测定径 | 内外径同 φ550mm(※EC5100H) |
装载重量 | 200kg(※EC5100H) |
上下移动量 | 1000mm(b测杆使用時)(※EC5100Hの場合) |