■高稳定倍光路型激光干涉传感器

●应用东京精密的要素技术之一的光纤激光干涉测长系统，开发出分辨率0.31nm的高稳定倍光路型激光干涉传感器并搭载在产品上。

●动态量程与分辨率之比高达42,000,000 ：1，一次跟踪即可评价大范围的轮廓形状及其隐藏在形状下面的微细表面形状，

是一款划时代的产品。

■在驱动部搭载线性马达  已取得f

●凭借线性马达驱动，实现了高精度·高速移动。

●电子低振动化稳定，可以实现高倍率测定。

■只需一次测量即可进行粗糙度和轮廓的分析

●可在保持高精度的同时提高测量效率。

■范围大、自动测量

●横向200mm，纵向13mm，测量范围大。

●可±45°自动控制驱动部倾斜（SURFCOM CREST-T型号）