1.即放即测！ 2.10秒钟完成50nm的极薄金镀层测量！ 3.可无标样测量！ 4.通过样品整体图像更方便选择测量位置！

■主要特点

●通过自动定位功能提高操作性

测量样品时，以往需花费约10秒的样品对焦，现在3秒内即可完成，大大提高样品定位的操作性。

● 微区膜厚测量精度提高

通过缩小与样品间的距离等，致使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度提高膜厚测量的精度。

● 多达5层的多镀层测量

使用薄膜FP法软件，即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。

● 广域观察系统（选配）

可从250×200mm的样品整体图像测量位置。

● 对应大型印刷线路板（选配）

可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。

● 低价位

与以往机型相比，既提高了功能性又降低20%以上的价格。