一、原理：
探针在被测工件上扫描由工件表面轮廓不平而形成上下位移， 使传感器中磁回路间隙改变导致电感变化，形成微弱讯号。传感器输 出的微弱讯号经放大、鉴相后，经过低通滤器及根据高斯滤波器特性 而设计的长波段滤波网络，输出模拟讯号分成二路，R参数；轮廓参 数分别由数据采样卡内的16位A/D转换处理，形成数字信息，经PC 运算处理显示。
二、评价项目:
Rk, Wp, Wv
二、特点：
♦的高精度采集控制系统，有效精度达0.001 ^im
♦关键件采用特殊去应力合金材料及特殊的去应力处理工艺，精度保
持长久
♦高精度直线导轨 ♦国内的高精度采集控制系统 ♦模块化设计使用户维护成本降至*低 ♦ PC配置灵活，可据根用户要求配置
♦具有针对性、*性的系统保证测量的实时性及系统的稳定性 四、技术参数：
♦*大测量长度：25mm ♦直线度测量精度：0.4um
♦滤波器：高斯(Gaussian)滤波器（IS011562:1996)，RC 滤
波器
♦截止波长：0.25，0.8，2.5
♦测量重复性：4%
♦相对示值误差：±7%
♦测量长度：Ac X3、4、5、6、7 (1.0-17. 5mm)
♦测量范围：640 um ♦ 分辨率： 0. OOlum
♦测量速度： 0. lmm/s，0. 32mm/s, 0. 5mm/s ♦返回速度：lmm/s (自动） ♦测量方式：传感器移动式 ♦主机重量：约200Kg ♦主机尺寸：长（1600mm) x 宽(700mm) x 高（1400mm) 五、设备配置 | 项目 | 名称 | 数
量 | 备注 | 主机
系统 | 1 | RC50H主机 | 1 | | | 2 | 高精度直线导轨 | 1 | | | 3 | XY精密工作台面 | 1 | | | 4 | 大理石升降立柱 | 1 | | | 5 | 校正标准件 | 1 | | | 6 | 调整夹具 | 1 | | | 7 | 数据采集模块 | 1 | | | 8 | 手册资料 | 1 | | 计算机
系统 | 1 | 计算机 | 1 | | | 2 | 打印机 | 1 | | 软件
系统 | 1 | 基本软件 WinXP系统下标准版测量软件包 | 1 | | |
六、软件界面: 文件(I)帮助㈤
| Ra | 0.4103 Pm | RP | 0.6621 Pm | Rpk | 0.0610 |
| Rt | 1.4526 | Rpm | 0. 6237 Pm | Rk | 1.0071 |
| Rz (Ry (j | 1. 3538 ^m | Rsk | -0.2011 | Rvk | 0. 3662 Pm |
| Rmax | 1. 3977 Pm | Rv | 0.7356 ^ m | Mrl | 1.5* |
| Rz CDIN) | 1•3538 ^m | Rs | 21.2113 V-m | Mr2 | TO. 3* |
| Rz (jis) | 1.3237 | Rsm | 96. 1905 ^m | Rdc | 0.0000 Pm |
| R3z | 1.3184 km | Rc | 0.8763 ^ m | R | 1.8953 ^m |
|M：：il| < | > 1选择/显示指数|細除数g| 触针位罝| 自动调整|手动v| a| Ready
cs-粗糙度 r波纹度 截止波长 扫描长度 测星速度 七.环境要求 ♦环境要求：温度：10〜30°C;相对湿度：<85% ♦ 功率需求：约400W;交流220V±10%，50Hz
