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H/2H系列滑阀真空泵是排除一般性气体和含有少量可凝气体(使用气镇装置)的真空获得设备之一。当抽除含氧量过高、有爆炸性气体、对黑色金属有腐蚀性的、对泵油起化学反应的气体时应增加附加装置才能保证正常使用。
本系列滑阀真空泵采用了多项*技术,对滑阀杆离心惯性力进行了动平衡设计,在次实现大泵双缸结构(2H系列),在气路设计等方面进行了改革,本泵具有体积小、真空度高、振动噪声小、运转平稳、功耗小等突出优点。
本系列泵可单独使用,也可作为其他真空泵的前级泵。适用于真空镀膜设备、宇航模拟设备、单晶炉,多晶炉设备、真空干燥、真空浸渍、真空冶炼等场合。
型号/性能/参数(Type-Performance-parameter)
型号 | 极限压力(Pa) | 抽气速率(L/S) | 进气口径 | 排气口径 | 配用功率 | 冷却水耗量(L/h) |
2H-30 | 6×10-2 | 30 | 63 | 50 | 4 | 250 |
2H-70 | 6×10-2 | 70 | 80 | 63 | 7.5 | 350 |
2H-150 | 6×10-2 | 150 | 100 | 80 | 15 | 500 |
HL-150 | 0.8 | 150 | 100 | 80 | 11 | 700 |
H-150 | 0.8 | 150 | 100 | 80 | 15 | 700 |
H-300 | 0.8 | 300 | 200 | 100 | 30 | 1000 |
特性曲线 Characteristic curve