半导体精密工件

技术资料：
SEMICLEAN　L.G.L 横滨油脂LGL清洗剂|LGL玻璃清洗剂|LGL清洗剂
YOKOHAMA OILS&FATS INDUSTRY CO.,LTD 
横滨油脂LGL清洗剂|LGL玻璃清洗剂|LGL清洗剂
◆特点： 

濡湿性能较好，低起泡性。 

1、半導體等精密工件的清洗。横滨油脂LGL清洗剂|LGL玻璃清洗剂|LGL清洗剂 
2、去附著在加工部品表面的切削、研磨、壓力機油等。 
3、機械、備件表面之污垢。 
4、玻璃镜片、光学镜头、视窗平板等光学镜片的清洗及镀膜前后清洗。

横滨油脂LGL清洗剂|LGL玻璃清洗剂|LGL清洗剂

使用方法及溶液的管理
清洗后需要2～5步的水洗 
◆物性 
ｐH（２％）    １１．７    （＠２５℃） 
比　重    １．１２    （＠２５℃） 
有效碱性    ２．９ ％    （以KOH换算） 
云点（２％）    ＞８０℃         
此资料为弊司研究室的测量结果。 
根据客户端的使用条件結果或有少许出入。 
◆清洗试验（接触角检测） 
○玻璃基板： 无碱玻璃 
○试验方法： 以下记条件进行清洗、清洗前后分别以纯水进行接触角检测。 
横滨油脂LGL清洗剂|LGL玻璃清洗剂|LGL清洗剂
L.G.L（2%） 純水     純水     純水     
US44kHz,250W -- US44kHz,250W -- US44kHz,250W -- US44kHz,250W --冷风干燥 
40℃,60sec     20℃,120sec 40℃,120sec 50℃,120sec 120sec 

○试验结果： 
清洗前28.3° →　清洗后7.0°(变化率-75.3%） 
◆清洗试验（手套残渣除去） 
○玻璃基板： 无碱玻璃 
○试验方法：以下记条件进行清洗、清洗前后分别以纯水进行接触角检测 
横滨油脂LGL清洗剂|LGL玻璃清洗剂|LGL清洗剂
L.G.L（0.5%、1%） 純水     純水     純水 
US44kHz,250W -- US44kHz,250W -- US44kHz,250W -- US44kHz,250W -- 冷风干燥 
40℃,30sec     20℃,120sec 40℃,120sec 50℃,120sec 120sec 
○试验结果： 
清洗前28.3° →　清洗后7.0°(变化率-75.3%） 

◆清洗试验（手套残渣除去） 
○玻璃基板： 无碱玻璃 
○试验方法：以下记条件进行清洗、清洗前后分别以纯水进行接触角检测 

L.G.L（0.5%、1%） 純水     純水     純水     
US44kHz,250W -- US44kHz,250W -- US44kHz,250W -- US44kHz,250W -- 冷风干燥 
40℃,30sec     20℃,120sec 40℃,120sec 50℃,120sec 120sec 

精密石英玻璃