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可用以施行真空离子渗氮的钢种有合金结构钢、不锈耐酸钢、耐热钢、合金工具钢、高速工具钢、球墨铸铁，常用钢号有：38CrMoAl、18Cr2Ni4W、40Cr、42CrMo、35CrMo、45#、20Cr、40CrNiMo等。
真空离子渗氮的优点：
(1)处理温度低、工件畸变小;
(2)工艺适用钢种多，应用广泛;
(3)强化，处理后耐磨、耐腐蚀、抗疲劳性能大幅提高;
(4)效率高、节能环保，工艺周期比一般气体渗氮短。
现有设备处理尺寸：Φ2000mm X 6000mm
