一．产品简介

HUE-X931是哈尔滨工业大学、哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司联合开发的新一代高空间分辨率光学共焦显微镜。 产品系大型科学仪器，综合了国内外优势技术方案，技术密集度，能够实现对各类样品表面微结构的高分辨率三维测量。

二．使用环境

温度要求:20℃±1℃

湿度要求:小于60%RH

隔振要求:仪器应放在隔振基础上，周围无剧烈振动和冲击

电磁场要求:使用现场周围无强电磁干扰

三．HUE-X931特征与优势

非接触式3D测量:采用532nm波长激光产生的虚拟探针进行测量，不会划伤样品表面。

抗样品反射率扰动:采用共焦传感原理，对样品表面测量点的反射率变化不敏感。高空间分辨力测量特性:横向分辨力优于传统显微成像，轴向分辨力达到纳米级水平。

硬件模块化设计:可根据测量样品的不同需求配置测量方案。可定制的软件功能模块:开发工程师可根据用户需求，设计提供相应软件模块。

四．应用领域
      轮廓测量 ： 高度测量 宽度测量 形状角度测量
      3D测量 ：  体积测量 表面积测量
      粗糙度测量 ：线条粗糙度测量 表面粗糙度测量

五．典型应用
     微光机电元件(MEMOS)结构测量

乳胶悬浮物/聚合物亚表面成像分析

材料表面/断口特性分析
       集成电路线宽测量

 封装对准

      六．技术规格