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一.产品简介
VS部件实现调整光刻机光学系统中的光源现场尺寸以及视场内光强的均匀性。要求刀片扫描运动与掩膜台扫描运动同步。
二.设计原则
模块化设计原则：根据功能分解，确定模块结构，集成化设计，须便于集成前的模块离线测试。
轻量化原则：在满足强度及模态需求情况下，降低质量，减轻对电机出力的需求。
质心匹配原则：电机驱动质量与驱动力尽可能在同一平面实现质心驱动，可减小附加转矩。
尺寸约束原则：在满足接口尺寸要求条件下，合理布局，尽可能平衡各预留尺寸。
易于装调原则：在设计阶段考虑装调测试，以减小工装设计和装调的难度。
硬件安全原则：运动部件必须有安全防护装置及限位，机械方式，其次电气及软件方式。
三.产品规格
需求名称 | 指标 | |
行程需求 | VS最小开口 | 0.5mm*0.5mm |
X向行程 | 总行程±22mm,其中功能行程±20mm | |
Y向行程 | 总行程±30mm，其中功能行程±28mm | |
Y方向运动特性 | VS运动误差(动态) | ±0.03mm |
刀片形貌误差 | 0.02mm | |
刀片热变形影响 | 0.02mm | |
刀片刀口刃厚度 | ≤0.lmm | |
加速度(验收指标) | 5g | |
加速度(设计目标) | 6g | |
速度(验收指标) | 0.6m/s | |
速度(设计目标) | 0.8m/s | |
加速稳定时间(验收指标) | <8ms | |
加速稳定时间(设计目标) | <6ms | |
反向冲击力 | <40N | |
X方向运动特性 | VS运动位置误差 | ±0.02mm |
刀片形貌误差 | 0.02mm | |
刀片热变形影响 | 0.02mm | |
刀片刀口刃厚度 | ≤0.1mm | |
加速度 | 2g | |
速度 | 0.5m/s | |
设定时间 | 90ms,运动距离10mm | |
刀口位置 | 四个刀口共面 | ≤0.1mm |
相邻刀片斜面距离 | ≤0.1mm | |
X方向刀片相对安装基准面垂直度(全运动行程内) | <0.02mm | |
Y方向刀片相对安装基准面平行度(全运动行程内) | <0.02mm | |
寿命 | 7年 | |
MTBF | 平均时间 | >10000h |
