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编号 | 内容 | 规格参数 | 备注 |
1 | 机台整机规格 | 2990（W）*1905（D）*2335（H）mm | |
2 | 真空室规格 | 2230（W）*1250（D）*1320（H） | |
3 | 有效处理区尺寸 | ≤500宽幅 | |
4 | 真空电极结构 | 垂直8层7层处理区 | |
5 | 机台总重 | 约3500kg | |
6 | 额定功率 | 35KW | |
7 | 机台供电 | AC-380V-50HZ,三相五线 | |
8 | 抽真空极限压力 | ≤40mtorr | |
9 | 抽真空时间 | ≤240秒 | |
10 | 破真空时间 | ≤120秒 | |
机台用途：用于处理PI聚酰亚胺薄膜、FPC柔性线路板的真空卷对卷设备； 设备特点：主要用于处理100～650mm宽幅之材料，材料在真空室内部垂直处理，上下料简单，可用于刻蚀工艺。 | |||
