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机台名称:准辉光常压宽幅等离子模组
机台型号 :PCF-6000B
▌ 模块化设计,结构紧凑,便于安装到流水线设备上
▌ 有的高速处理效果
处理白玻璃速度约400毫米/分钟 (接触角< 10 °)
▌ 只需要使用压缩空气(用于散热)
▌ 较低的处理温度,基片温度< ~ 40 °C
- 不存在热损伤和热氧化的问题
▌ 臭氧释放量( < ~ 0.01 ppm)
▌紧凑的模块化设计 (宽:60mm)
▌等离子处理宽度:100~10000mm(可定制)
▌较低的等离子处理温度
基片温度< ~ 40 °C
▌主要应用:
白玻璃 清洁,
绝缘薄膜清洁活化,
平板覆膜清洁。