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机台名称： 卷对卷式等离子体处理系统
机台型号： OKSUN-RTR2000L-W800H
处理宽幅： 100mm～800mm（可定制）
真空腔： 2000L（可定制）
电源系统： 2KW～10KW等离子体发生源
控制系统： 触摸屏+PLC自动控制
进气系统： 标配2路工作气体，可扩展至5路工作气
体（Ar2、N2、H2、CF4、O2）
机台用途：用于处理PI聚酰亚胺薄膜、FPC柔性线路板的真空卷对卷设备；
设备特点：主要用于处理100～600mm宽幅之材料，材料在真空室内部水平处理，上下料简单，可用于刻蚀工艺。
